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姓名:
获奖名称: 金刚石微电子和微机械器件制备关键技术
主要完成人:
完成单位:
获奖类别: 上海市科技进步三等奖
获奖等级: 三等奖
授奖部门: 上海市
获奖时间: 1996-12-1
成果介绍:
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