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姓名:
获奖名称: 基于工艺选择性的MEMS三维制造关键技术与设计方法
主要完成人: 王跃林、鲍敏杭、李昕欣、李铁、熊斌、罗乐
完成单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
获奖类别: 国家技术发明二等奖
获奖等级:
授奖部门: 国务院
获奖时间: 2012
成果介绍:
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