魏星,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。在中国科学院大学取得博士学位(最高学位),于2010年6月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
魏星博士长期从事先进硅基衬底材料-SOI的形成机理、材料表征与分析和工程化制备技术等方面的研发与产业化工作,在大尺寸键合SOI材料、RF SOI材料等领域取得多项创新性成果。在JES、JVSTb、SSE等期刊发表了SCI论文30余篇,作为第一发明人申请发明专利80余件,获中国、美国、法国、日本等国家专利授权超过40件。2010年获中国科学院院长奖、2012年入选中国科学院青年创新促进会、2013年获嘉定区科学技术进步二等奖、2014年获中国科学院卢嘉锡青年人才奖、2017年当选上海市优秀技术带头人。
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