薛忠营,男,1976年5月出生,山东省淄博市人。1999年获山东大学物理学学士学位,2002年获山东大学硕士学位,2002年至2007年在积成电子股份有限公司从事软件开发工作,2011年6月于中科院上海微系统与信息技术研究所获博士学位。2011年7月起在中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室工作,先后任助理研究员、副研究员。主要从事绝缘体上应变硅(sSOI)、绝缘体上锗(GOI)、超薄绝缘体上硅(ETSOI)等高迁移率材料的制备研究。作为主要研究人员完成了三项 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项项目(课题)的研究工作。 |