余明斌,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员研究员,博士生导师。在西安交通大学取得博士学位,曾在新加坡微电子研究院担任纳米硅光子学团队首席研究员,具有丰富的硅基光电子器件集成与工艺开发经验。于2017年3月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
余明斌长期从事硅基光电子器件集成与工艺领域研究工作,在新型高性能光电子器件以及借助硅通孔(TSV)技术的2.5D光电集成等领域取得多项创新性成果。在Nature,PRL等期刊发表了SCI论文200余篇,申请发明专利100余件。曾获新加坡总统科学技术奖,入选中科院级高层次人才项目等。 |