人才库
  
姓 名:
李卫民
性    别:
职 务:
职    称:
研究员
学 历:
博士研究生
通讯地址:
长宁路865号
电 话:
021-62511070
邮政编码:
200050
传 真:
电子邮件:
weimin.li@mail.sim.ac.cn

简历:

李卫民,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师。在犹他大学取得博士学位,曾在集成电路行业知名企业美光、中芯国际和应特格从事集成电路工艺与材料的研发工作,具有丰富经验。于20192月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。 

李卫民长期从事集成电路工艺与材料领域研究工作,在低介电常数绝缘层工艺、原子层沉积等领域取得多项创新性成果。在Applied Physics Letters等期刊发表了SCI论文4余篇,已授权美国发明专利86件。入选中科院级高层次人才项目。


研究领域:
社会任职:

获奖及荣誉:
代表论著:

承担科研项目情况: