基于绝缘体上硅衬底的射频共面波导元件及其制备方法 专利名称: 基于绝缘体上硅衬底的射频共面波导元件及其制备方法 专利名称英文: 专利类别: 发明 申请号: 2016103019009？ 专利号: 申请日期: 2016-5-9 第一发明人: 俞文杰 第一发明人英文: 其他发明人: 费璐; 刘强; 刘畅; 文娇; 王翼泽; 王曦 其他发明人英文: 国外申请日期: 国外申请方式: 国外申请方式英文: 专利授权日期: 缴费情况: 缴费情况英文: 实施情况: 实施情况英文: 其他备注: 受理 其他备注英文: 专利证书号: 专利摘要: 专利摘要英文: 国外授权日期: