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一种多层异质单晶薄膜衬底的制备方法
专利名称: 一种多层异质单晶薄膜衬底的制备方法
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2021103950877
专利号:
申请日期: 2021/4/13
第一发明人: 欧欣
第一发明人英文:
其他发明人: 王成立,张师斌,伊艾伦,郑鹏程
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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其他备注:
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