专利库
  
基于氮化硅阳极键合的(111)硅转移工艺
专利名称: 基于氮化硅阳极键合的(111)硅转移工艺
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2021104318545
专利号:
申请日期: 2021/4/21
第一发明人: 叶超展
第一发明人英文:
其他发明人: 孙珂;杨恒;李昕欣;
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期: