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基于氮化硅光子晶体的光分路器
专利名称: 基于氮化硅光子晶体的光分路器
专利名称英文:
专利类别:
申请号: 2021208825370
专利号:
申请日期: 2021/4/27
第一发明人: 佘小娟
第一发明人英文:
其他发明人: 廖涵;赵瑛璇;仇超;甘甫烷;
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
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专利授权日期:
缴费情况:
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实施情况:
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其他备注:
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专利证书号:
专利摘要:
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