MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列
| 专利名称: |
MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列 |
| 专利名称英文: |
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| 专利类别: |
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| 申请号: |
2021105716427 |
| 专利号: |
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| 申请日期: |
2021/5/25 |
| 第一发明人: |
武震宇 |
| 第一发明人英文: |
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| 其他发明人: |
汪洋；张浩；王栎皓；姜新泉； |
| 其他发明人英文: |
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| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 国外申请方式英文: |
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| 专利授权日期: |
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| 缴费情况: |
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| 缴费情况英文: |
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| 实施情况: |
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| 实施情况英文: |
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| 其他备注: |
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| 其他备注英文: |
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| 专利证书号: |
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| 专利摘要: |
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| 专利摘要英文: |
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| 国外授权日期: |
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