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三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
第一作者:
蔡梅妮
摘要:
联系作者:
页码:
790-794,814
期:
10
学科:
外单位作者单位 :
发表年度:
2012
卷:
37
单位代码:
刊物名称:
半导体技术
全文链接:
论文全文:
第一作者所在部门:
论文出处:
论文类别:
参与作者:
其它备注:
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