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氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展
第一作者: 吴俊星;刘卫丽;谢华清;宋志棠;朱月琴;
摘要: 介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路。
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页码: 104-108
期: 2
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发表年度: 2015
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刊物名称: 上海第二工业大学学报
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