氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展
第一作者: |
吴俊星;刘卫丽;谢华清;宋志棠;朱月琴; |
摘要: |
介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路。
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联系作者: |
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页码: |
104-108 |
期: |
2 |
学科: |
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外单位作者单位 : |
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发表年度: |
2015 |
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刊物名称: |
上海第二工业大学学报 |
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论文全文: |
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第一作者所在部门: |
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