化学气相沉积法制备的石墨烯晶畴的氢气刻蚀

第一作者:	王彬;冯雅辉;王秋实;张伟;张丽娜;马晋文;张浩然;于广辉;王桂强;
摘要:	利用化学气相沉积法在抛光铜衬底上制备出六角形石墨烯晶畴,并且在高温条件下对石墨烯晶畴进行氢气刻蚀,利用光学显微镜和扫描电子显微镜对石墨烯晶畴进行观测,发现高温条件下石墨烯晶畴表面能够被氢气刻蚀出网络状和线状结构的刻蚀条纹.通过电子背散射衍射测试证明了刻蚀条纹的形态、密度与铜衬底的晶向有密切关系.通过对比实验证明了石墨烯表面上的刻蚀条纹是由于石墨烯和铜衬底的热膨胀系数不同,在降温过程中,石墨烯表面形成了褶皱,褶皱在高温氢气气氛下发生氢化反应形成的.对转移到二氧化硅衬底的石墨烯晶畴进行原子力显微镜测试,测试结果表明刻蚀条纹的形貌、密度与石墨烯表面褶皱的形貌、密度十分相似.进一步证明了刻蚀条纹是由于...
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页码:	342-347
期:	9
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发表年度:	2016
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刊物名称:	物理学报
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