基于MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器的仿真和制备
第一作者: |
吴利青;徐德辉;熊斌; |
摘要: |
基于KOH腐蚀工艺设计并制作了具有双凸台结构的微型热电能量采集器,运用有限元法仿真器件在一定温差下的温度分布;并对器件建立了数学模型,分析凸台结构的几何参数等对器件输出性能的影响。仿真结果表明:随着顶部凸台高度的增加,温差的有效利用率逐渐升高;随着顶部凸台边长的增加,有效温差利用率逐渐降低;随着热冷端热阻的减小,器件的有效利用温差、开路电压、回路电流、输出功率都逐渐升高。从工艺上证明,基于MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器是可以加工和制备的。
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联系作者: |
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页码: |
305-312 |
期: |
3 |
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外单位作者单位 : |
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发表年度: |
2016 |
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刊物名称: |
传感技术学报 |
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