顶栅石墨烯离子敏场效应管的表征及其初步应用
第一作者: |
吴春艳;杜晓薇;周麟;蔡奇;金妍;唐琳;张菡阁;胡国辉;金庆辉; |
摘要: |
传统的液栅型石墨烯场效应管虽然灵敏度高,但是石墨烯沟道极易被污染,致使器件的稳定性减小,不能被重复利用.为此,我们设计制造了一种顶栅石墨烯离子敏场效应管,以化学气相沉积生长的石墨烯为沟道,通过原子层沉积在石墨烯表面沉积绝缘层Hf O_2/Al_2O_3,其中Al_2O_3作为敏感膜,Hf O_2/Al_2O_3作为石墨烯及电极的保护膜.经过一系列的电学表征和测试发现,相较于液栅型石墨烯场效应管,顶栅石墨烯场效应管具有更高的信噪比、更好的稳定性.为了利用顶栅石墨烯进行生物分子的检测,我们将单链DNA修饰在Al_2O_3表面,成功检测到了修饰DNA前后的信号差异,并结合荧光修饰的表征验证了顶栅石墨...
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联系作者: |
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页码: |
64-71 |
期: |
8 |
学科: |
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外单位作者单位 : |
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发表年度: |
2016 |
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刊物名称: |
物理学报 |
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